東京エレクトロンデバイスの大株主
2026-03-31現在。出典：東京エレクトロンデバイス「有価証券報告書」大株主の状況（EDINET S100YBV4）
| 順位 | 株主 | 種類 | 持っている割合 |
|---|---|---|---|
| 1 | 東京エレクトロン | 会社 | 33.82% |
| 2 | 日本マスタートラスト信託銀行 (信託口) | 信託口・預かり（名義） | 7.80% |
| 3 | 東京エレクトロンデバイス社員持株会 | 従業員持株会 | 5.70% |
| 4 | 野村信託銀行(東京エレクトロンデバイス社員持株会専用信託口) | 従業員持株会 | 2.12% |
| 5 | 日本マスタートラスト信託銀行 (役員報酬BIP信託口・76625口) | 信託口・預かり（名義） | 1.51% |
| 6 | 日本マスタートラスト信託銀行 (株式付与ESOP信託口・76616口) | 信託口・預かり（名義） | 1.32% |
| 7 | 日本カストディ銀行(信託口) | 信託口・預かり（名義） | 1.21% |
| 8 | 日本マスタートラスト信託銀行 (役員報酬BIP信託口・75723口) | 信託口・預かり（名義） | 1.07% |
| 9 | STATE STREET BANK AND TRUST COMPANY 505223 (常任代理人 みずほ銀行決済営業部) | 信託口・預かり（名義） | 0.86% |
| 10 | JP MORGAN CHASE BANK 385781 (常任代理人 みずほ銀行決済営業部) | 信託口・預かり（名義） | 0.82% |